快速扫描探针显微镜是一种新型的探针显微镜，是从扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜，静电力显微镜，磁力显微镜，扫描离子电导显微镜，扫描电化学显微镜等）的统称。基本工作原理是利用探针与样品表面原子和分子之间的相互作用，即当探针与样品表面接近纳米尺度时，形成各种相互作用的物理场，通过检测相应的物理量，得到样品的表面形貌。扫描探针显微镜由探头、扫描仪、位移传感器、控制器、检测系统和图像系统组成。
快速扫描探针显微镜的特点：
1、除了场离子显微镜和高分辨率透射电子显微镜外，扫描探针显微镜是在场离子显微镜和高分辨率透射电子显微镜后，在原子尺度上观察物质结构的第三类显微镜。以扫描隧道显微镜（STM）为例，其横向分辨率为0.1~0.2nm，纵向深度分辨率为0.01nm，可以清晰地观察到分布在样品表面的单个原子或分子。同时，在空气、其他气体或液体环境中也可以观察到扫描探针显微镜。
2、扫描探针显微镜具有原子分辨率、原子输运、纳米微加工等特点，但由于各种扫描显微镜的工作原理不同，其结果反映了样品表面的不同信息。扫描隧道显微镜(STM)测量样品表面的电子工位的分布信息，该信息具有原子分辨率，但仍不能获得样品的真实结构。原子显微镜检测原子间相互作用的信息，从而获得原子在样品表面排列的信息，这是样品的真实结构。另一方面，原子力显微镜无法测量与理论相比较的电子状态信息，因此它们各自具有较短的长度。
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